真空箱式氦檢漏儀的優(yōu)點(diǎn)
2023.12.02
(1)便攜性:許多真空箱式氦檢漏儀不僅靈敏度高，而且便于攜帶，為野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了很大的便利。
(2)高壓強(qiáng)下檢漏:檢漏口的壓力可高達(dá)數(shù)百帕，對(duì)于檢測(cè)大系統(tǒng)和泄漏工件非常有用。
(3)高度自動(dòng)化：氦峰自動(dòng)標(biāo)定，零點(diǎn)自動(dòng)調(diào)整，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換，數(shù)據(jù)自動(dòng)處理，可外接打印機(jī)。全機(jī)由微電腦控制，具有選菜功能，一鍵完成全檢漏過程。
(4)完全無油的干式檢漏:一些地方生產(chǎn)的檢漏儀可以采用干式泵，達(dá)到無油蒸汽的效果，為無油系統(tǒng)、晶片等半導(dǎo)體器件的檢漏提供了有利條件。
真空箱式氦檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高，用得較普遍的檢漏儀器。
真空箱式氦檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰及電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。
